在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除;水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。 天然水中溶解的气体主要有O2、、CO2、SO2和少量的CH4、氡气、氯气等，在高纯水的生产过程中，还必需去除这类的气体。为了有效的去除杂质，在生产高纯水的过程中，加入了一些化学杀菌剂，如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。
纯水和超纯水广泛用于电厂、电子、医药、化工行业，通过各种膜的过滤或离子交换作用，将水中的有害离子去除。
电厂多用的脱盐水，其脱盐水水质的主要指标为：硬度约等于零，电导率≤0.2μs.cm，SiO2≤20ppb。
化工用水多种多样，通常水质不会比电厂水质要求高，但可能会对某些离子有要求，所以常用一级或二级反渗透工艺。出水水质电导为5~10μs.cm以上。如有更高的要求则后面加混床或EDI。
医药用水多对电导和细菌作要求，对系统所用材料材质有要求，多选用不锈钢产品。通常纯水后要加杀菌消毒装置。
电子行业对水的要求是最高的，多数电子用水要求达到18兆。对电阻率的要求只是电子用水的一小部分，它对其中很多离子都有较高要求，所以对安装材料及管道有特殊要求。选用工艺也是最复杂的。通常要在EDI后加抛光混床及超滤、杀菌、氮封水箱等装置，造价也很高。
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